中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9206373 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、スループットとコスト削減を向上させ、超クリーンな結果を提供するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度のレーザーを使用して、特定のフォトレジストパターンの正または負の領域を互いに迅速かつ正確に分離します。TEL Clean Track Lithiusには、露光条件とレーザー特性を個別に変更できる調整可能な光学ベースブロックがあり、高精度なパターニングが可能です。このユニットはまた、モジュール設計を使用してセットアップの柔軟性を向上させ、大型基板のロードとアンロードを便利にします。最小線幅は1。4ミクロン、間隔は2ミクロンで、ファインフォーカスビームは0。5ミクロンの特徴を解決することができます。このユニットは、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）ソフトウェアによって便利に制御され、オペレータの使用とリアルタイム調整が容易になります。正確なレーザーショット間隔により、パターンの再現性と信頼性がさらに向上します。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、生産目的に必要なパターニング量と品質を確保し、安定した動作を実現するよう設計されています。Clean Track Lithiusは、専用のドライクリーニング装置を使用して、基板の効率的な洗浄を可能にし、大量の生産環境でも耐えることができます。このツールは、より良い粒子制御のための3段階のフィルタリング構造を採用しているため、汚染レベルが改善され、クリーニングに伴うコストとダウンタイムが削減されます。アクティブな汚染検出を実装し、必要に応じて資産の継続的な調整を可能にします。また、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、リアルタイムスキャン電子顕微鏡を統合し、高解像度の画像を送信し、迅速な欠陥解析と解像度を実現しています。この統合された検出モデルは生産ラインからサンプルを取る必要性を除去し、時間および費用を削減します。さらにソフトウェアシステムを使用して、所定の値に応じてフォーカス位置やショット位置などのレベルや機能を自動的に調整し、さらに高い精度を実現します。全体として、TEL Clean Track Lithiusは、スループットとコスト削減を向上させ、超クリーンな結果を提供するように設計された先進的なフォトレジストユニットです。精密なレーザー、自動化された特徴の調節、高解像度のイメージ投射および活動的な汚染の検出によって、この機械は良質および反復可能性を要求する生産の環境のための理想的な解決です。