中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9203697 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、最高レベルのマイクロ/ナノデバイス製造を実現するために設計された先進的なフォトレジストプロセス装置です。スループットが高く、欠陥率が低いため、基本性能から高度なパフォーマンスまで、アプリケーションにとって費用対効果の高いソリューションです。レーザー光を用いてウェーハ上に高解像度のパターンを作成します。ダイレクトパルスバイパルスイメージング法は、ArF（アルゴンフッ化物）浸漬、KrF（クリプトンフッ化物）乾燥モード、ハイブリッドモードなど、複数のリソグラフィーオプションをサポートしています。ビームエネルギーは、生産のための高いパルス反復率と、精密なオーバーレイと微細なフィーチャー露出のための超高精度パルスで、さまざまなアプリケーション要件に合わせて調整することができます。ベーキング、開発、ストリッピング、硬化、イオンビームミリングなど、幅広いポスト露出プロセスに対応しています。TEL Clean Track Lithiusは、汚染を最小限に抑え、プロセス効率を最大化するために構築されています。ユニットの空気清浄機は、露出から汚染やその他の浮遊粒子を除去するのに役立ちます。特許取得済みのアクティブノイズキャンセレーションモジュールは、背景圧力ノイズを低減し、このツールには詳細なマイクロメッシュフィルター、トリプルフィルトレーション、紫外線殺菌機能が装備されています。このデバイスは、化学汚れや粒子汚染のリスクを制限するために、部分的に監視された化学供給ロック資産を使用しています。モデルはまた作り付けの理性的な送風機を特色にし、部屋内の圧力を変調することができます。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusのユーザーインターフェースはシンプルで直感的です。共通のソフトウェア環境は、複数のプラットフォームモデルに使用でき、高度な技術サポートサービスは24時間利用できます。Clean Track Lithiusは高速で正確で信頼性の高い製品です。コンパクトな設計、部品点数が少なく、メンテナンスコストも低く、小規模および大規模生産環境に適しています。このデバイスは厳格なテストを受けており、ISO 9001：2015、 ISO 14001：2015、およびEPA適合など、さまざまな認証を取得しています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、パワフルで費用対効果の高いフォトレジストプロセス機器で、今日のマイクロ/ナノデバイス製造の複雑な要求に応えることができます。