中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9195123 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、様々な画像を基板に露出させるフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ、オプトエレクトロニクスデバイス、半導体製造工程の微細パターニングやリソグラフィ用途に使用されます。TELクリーントラックリチウスユニットは、フォトレジストディスペンスユニット、画像露出部、ドライフィルム搬送部の3つの部分で構成されています。Photoresistsは最初に機械に統合されるphotoresistディスペンスユニットの基質に分配されます。このユニットは、その後の操作のための良い出発点を確保するために、その十分に制御された圧力と速度によるフォトレジストの均一な分配を提供します。ツールの2番目のセクションは、画像露出セクションであり、その後、フォトレジストに目的の画像を公開するプロセスを実行します。このセクションにはUV-LED光源が装備されており、校正の必要性を最小限に抑えた非常に安定したUV出力を提供します。これにより、露出を必要とする画像のすべての部分が均一なUV強度にさらされ、正確で再現性のあるパターニングプロセスにつながります。最後に、アセットの3番目のセクションはドライフィルム転送セクションです。このセクションでは、精密なドライフィルム移動ロボットを使用して、基板に転送できる感光膜の非常に薄い層を生成します。このセクションのロボットは、汚染や汚れのリスクを最小限に抑えながら、乾燥フィルムを基板に正確に配置することができます。結論として、TOKYO ELECTRON Clean Track Lithiusは、正確なパターニングとリソグラフィ用途に有効なフォトレジストモデルです。フォトレジストの均一な分配、均一な画像露出、正確で再現性のあるドライフィルム転送が可能です。これらの機能により、マイクロエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ、オプトエレクトロニクスデバイス、半導体製造プロセスでの使用に適しています。