中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro #293802326 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Proフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィープロセス向けに設計されたハイエンドで先進的なシステムです。フォトリソグラフィーは非常に精度の高い微細で複雑なパターンを作成するために使用され、このユニットは、市場で最高レベルの精度と信頼性の一部でこのプロセスを可能にします。Lithius Proは、フォトレジスト技術を使用して、マシンに配置されたパターンをキャプチャして追跡します。フォトレジストは、光にさらされると変化する感光材料で構成されています。光はフォトリソグラフィに必要なパターンに形成され、これはフォトレジスト内で捕捉されます。プロセス中、パターンは基板に露出され、プロセスの終わりにフォトレジストを削除してパターンを明らかにすることができます。Lithius Proの主な特徴は、基板に露出したパターンの正確な位置決めをキャプチャできる高精度の光学部品です。高精度のセンサを使用してパターンを+/-0。15ミクロンの精度でデジタル座標に変換します。また、高精細画像キャプチャは高感度のCCDカメラを使用し、光源は明るく均一な照明を提供し、一貫した正確な露出精度を提供します。もちろん、このツールの主な利点は、高度なクリーントラック資産です。クリーントラックモデルは、フォトレジスト上に粒子が形成され、パターンが汚染されるのを防ぐように設計されており、これは空気を引き込む真空環境によって達成され、粒子を捕獲し、フォトリソグラフィープロセスを保護します。全体として、TEL Clean Track Lithius Proフォトレジスト装置は、高精度の光学部品、正確なセンサー、粒子を防止するクリーンなトラックシステムを備えた、正確で信頼性の高いフォトリソグラフィープロセスをユーザーに提供します。このユニットは、高効率で正確なフォトリソグラフィープロセスを提供し、一貫した結果を生み出すことができるように設計されています。