中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z #293626995 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z
ID: 293626995
Resist coater / Developer system Multiple blocks.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Zは、半導体業界における精密性能を提供するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、最新のレーザー誘導熱画像技術を使用して、15ナノメートル以下の解像度を実現しています。これは、薄膜フォトレジスト層の迅速かつ正確かつ反復可能な除去を可能にします。超精密なアダプティブオプティクスを使用することで、フォトレジストユニットの潜在的な欠陥を最小限に抑えることができます。TEL Clean Track Lithius Pro Zは、最先端の光学ヘッドを利用したフォトアコースティックイメージングです。これにより、除去するレイヤーが非常に薄い場合でも、ウェーハ上に最小のジオメトリをイメージングできます。この機械は、高精度、再現性、洗浄安定性を提供します。モジュラー設計により、スペースや性能を犠牲にすることなく、お客様のサイトで簡単に輸送および組み立てが可能です。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Zツールは、ユーザーの効率と生産性を最大化するために設計されたさまざまな機能を備えています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスと、自動基板位置決めなどの基板処理ツールの幅広い選択を誇っています。アダプティブオプティクスアセットは、フォーカスエラーを自動的に補正することができ、複雑な形状を作成することができます。このモデルはまた、薄いフォトレジスト層の迅速かつ安全で効率的な除去を可能にする強力なレーザークリーニング装置を備えています。クリーントラックLithius Pro Zシステムは、半導体業界のために特別に設計されており、最適なパフォーマンスを確保するための多数の監視機能が含まれています。このユニットには、温度レベル、電流および電圧レベル、ガスレベル、基板配置、接触電位などの包括的なプロセストラッキングツールが装備されています。また、オフライン解析と自動化された制御により、再現可能なプロセスと高品質の最終製品を保証できます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Zツールは、半導体業界において比類のない精度と精度を提供します。最高の解像度とパフォーマンスを要求されるアプリケーションに最適なソリューションです。機能豊富な設計と監視機能により、ユーザーは信頼性が高く、繰り返し可能な結果と優れたエンドプロダクトに自信を持つことができます。
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