中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro V-i #9397199 を販売中
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販売された
ID: 9397199
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Coater / Developer system, 12"
Lithius Pro-V Immersion
(4) Loadports
(2) Grippers
RRC2 (Cyclohex addition)
O-ring fork on IRAH
ISHU bracket removal
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
BST2
Chamber position / Description
Unit position-1 / Rinse
Unit position-2 / Developer
Unit position-3 / Rinse
Unit position-4 / Solvent
Unit position-5 / Solvent
Unit position-6 / Vapor prime
Unit position-7 / -
Unit position-8 / -
Unit position-9 / -
Unit position-10 / -
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro V-iは、半導体デバイスの製造において高いフォトレジスト加工品質を提供するために設計された、市販のフォトレジスト機器です。このシステムは、困難なアプリケーションでも大量の高品質フォトレジストを生成するように設計されています。最新のフォトレジスト加工技術を搭載し、30nmまでの高精度光学機能を備えています。このツールは、フォトレジストのリフティングプロセス中に品質と均一性を確保するように設計されています。フォトレジスト資産は、高温、高信頼性、高接着性を備えた抵抗基板を使用して、高温にさらされた場合でも一貫した結果を保証します。このモデルには、チャンバーの清浄度とプロセスパラメータを監視するための洗練された安全装置も含まれています。統合されたPro V-iセーフティシステムは、温度、圧力、およびその他の動作パラメータを監視するために包括的なセンサーを使用しており、フォトレジストユニットを損傷から保護できます。TEL クリーントラックLithius Pro V-iマシンは、フォトリソグラフィ、エポキシ化、スピンオン蒸着など、さまざまな製造プロセスで使用できます。これは、従来のフォトレジスト材料の範囲と互換性があり、所望のアプリケーションに応じてさまざまな結果を達成するために使用することができます。このツールは、抵抗プロセス中に生成されたデータを直接転送できるようにするなど、制御と精度の最新の進歩を採用することにより、困難な生産プロセスをより簡単に処理することができます。これにより、ユーザーはプロセスを最適化し、より迅速な生産と応答時間を実現できます。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro V-iは、非常に信頼性と効果的なフォトレジスト資産であり、大量かつ高品質な結果を生み出すことができます。このモデルは多くの生産プロセスのための信頼でき、費用効果が大きい解決で、質のフォトレジストの一貫した生産を保障するために多くの異なった分野に適用することができます。
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