中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293649381 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithiusは、半導体デバイス製造用に設計されたフォトレジスト装置です。フォトレジスト残留物を均一かつ正確に除去するための高度で高性能なツールです。自動化された追跡システムを使用して、一貫したパフォーマンスを確保し、生産における粒子汚染を最小限に抑えます。TEL Clean Track ACT Lithiusは、半導体デバイスからフォトレジストを除去するためにさまざまな技術を利用しています。まず、材料を溶解するために一連の化学溶液が使用されます。その後、イソプロピルアルコール洗浄は、材料が完全になくなっていることを確認するのに役立ちます。次に、高エネルギーのプラズマを使用してデバイスの表面を完全にエッチングします。最後に、表面をスクラブし、残りのフォトレジストの痕跡を包括的に除去するために、高温低圧ガスが使用されます。このユニットには、コントローラ、ウェハハンドラ、化学配送、スクラビングステーション、レーザーエッチングステーションが含まれています。この機械の主な目的は、ウェーハのより正確な処理を提供することにより、粒子の汚染を最小限に抑えることです。ウェーハハンドラは、ウェーハ表面全体に沿って正確で均一なフォトレジスト洗浄性能を提供することができます。また、処理中にウェーハを汚染する可能性のある粒子を識別するための統合ビジョンアセットも含まれています。ケミカルデリバリーは、化学反応剤の精密かつ正確な制御と、時間とコストを節約するための試薬管理モデル、および廃棄物を最小限に抑えるためのケミカルオートメーション機器を提供します。プラズマエッチングステーションは、表面からフォトレジスト残基を迅速かつ効率的に除去するように設計された高周波プラズマ技術を使用しています。最後に、スクラビングステーションは低圧ガスストリームを使用して、残りの残留物を完全にきれいにするために洗い流します。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithiusは、半導体デバイス製造のための高度で効果的で信頼性の高いツールです。粒子汚染を低減し、優れた性能を提供するように設計されています。正確な洗浄を迅速かつ効率的に行うことができ、一貫して高品質のデバイス製造を保証します。