中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293641947 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithiusは、物理的および化学的処理を組み合わせ、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス表面に微細なパターンを作成するフォトレジスト機器です。このシステムは、ウェーハや基板に高精度で再現性のある微細な機能を作成するために使用されます。このユニットは、光源、パターンジェネレータ、コーター/デベロッパー、アナライザ、真空チャンバーの5つの主要コンポーネントで構成されています。光源は、特定の波長とパターンで高輝度の光を放出し、基板上のフォトレジストを活性化します。パターンジェネレータは、一連のビームを介して正確なパターンを作成し、光源を通過します。その後、コーター/開発者は基板にフォトレジストを塗り、パターン化された光にさらされます。その後、フォトレジストは化学的に開発され、基板表面にパターンがエッチングされます。最後に、分析器は、形成されたパターンの精度を効果的に測定します。これは、真空チャンバー内のパターン化された基板からデータを収集することによって行われ、アナライザは基板と所望のパターンの間の任意の相違を検出することができます。また、パターンジェネレータや光源を調整して所望のパターン精度を得ることができます。さらに、インライン赤外線顕微鏡とガス供給ツールを備えており、開発およびエッチング速度を正確に制御できます。これは、ガスの温度と濃度を制御して反応性を調整することによって行われます。最終的な結果は、従来のフォトリソグラフィとしての時間のほんの一部で作成され、信じられないほど正確なパターン化された基板です。これにより、TEL Clean Track ACT Lithiusアセットは、さまざまなマイクロエレクトロニクス用途向けの信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。