中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9402762 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、半導体材料の洗浄・表面処理用に設計されたフォトレジスト装置です。特許取得済みのロボットアームアセンブリを使用して、洗浄液を材料の表面に直接自動的に分配します。その後、液体を掃除し、表面に均一で清潔なコーティングを残します。TEL Clean Track ACT 8はコントローラ、デジタルカメラ、マニピュレータアーム、蒸気バリアシステムで構成されています。コントローラは、プロセスレシピ、デバイスの安全性、およびプログラム可能な操作とのインタフェースを提供します。デジタルカメラが正確なクリーニングおよびコーティングのための必要なフィードバックを提供するロボットアームアセンブリの動きを検出するのに使用されています。マニピュレータアームは、洗浄液の滑らかで正確な動きを提供するように設計されています。蒸気バリアユニットは、クリーニングプロセス中に発生する揮発性煙の脱出を最小限に抑えるように設計されています。これらのすべてのコンポーネントは、完全で信頼性の高いフォトレジストマシンを作成するために一緒に来ます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8にはビジョンサブシステムが搭載されており、手動検査で見落としかねない材料欠陥を正確に検出することができます。このツールには、異なる材料を簡単に認識し、パラメータを適切に調整できるインテリジェントなマテリアルハンドリングモジュールも含まれています。洗浄プロセスは、洗浄液の導入によって開始され、フォトレジスト材料の堆積が続きます。成膜プロセスは、短波紫外線光源を使用して行われ、その後、写真露出と開発が行われます。洗浄とコーティングのプロセスに続いて、デバイスは、余分なフォトレジスト材料を除去するために、水または適切な溶媒で洗浄されます。クリーントラックACT 8は、一貫した洗浄とコーティング結果を提供することができる、使いやすく、信頼性が高く、費用対効果の高いフォトレジスト資産です。半導体材料の洗浄とコーティングのプロセス全体を合理化するように設計されており、効率的なソリューションを求める企業にとって理想的な選択肢です。