中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9383674 を販売中

ID: 9383674
ヴィンテージ: 1996
Coater / Developer system (2) COT (2) TCT (3) DEV WEE Missing parts: Cup temperature system Humidity machine 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、特殊なソフトウェアとハードウェアを駆使し、高度なフォトリソグラフィープロセスを洗浄、保護、正確に暴露するフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィー(Photolithography)とは、半導体・マイクロエレクトロニクス産業において、材料表面に精密な形状、パターン、構造を再現するために使用されるプロセスです。TEL Clean Track ACT 8は、フォトリソグラフィープロセスの高度な精度と制御を可能にし、汚染から保護し、デバイスの断熱材を保護します。このシステムは、高度なフォトリソグラフィープロセスに必要な労力と人的労力を削減します。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8ユニットは、リソグラフィーステージを内蔵した専用ハードウェアモジュールと、コンピュータ上のソフトウェアと通信する一連のドライブセンサーで構成されています。このソフトウェアは、ターゲット材料の正確なアライメントなどのリソグラフィープロセスの追加ステップを自動化し、均一で均一な反応の露出を最適化するのに役立ちます。また、露出のリアルタイム監視を可能にするツールを備えており、さまざまなアプリケーションに合わせて調整することができます。Clean Track ACT 8ツールは、ユーザーが特定のアプリケーションにアセットを微調整できるさまざまなプロセスオプションを備えています。例えば、被膜厚と露光時間を選択することで、フォトレジスト材料の溶解やエッチング厚さのばらつきを正確に制御することができます。移動速度、通過速度、スキャン方向などの露出をさらに最適化するために、追加のプロセスオプションを設定することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8には、フォトリソグラフィの一貫性を確保し、汚染リスクを低減する2点真空システムなど、さまざまな安全機能が搭載されています。また、輸送中のユニットへの害を防ぐ保護カバーが付属しています。さらに、このマシンは、ツールが最高の状態で動作し、完全にサポートされていることを確認するために、さまざまな保証およびサービスオプションを提供しています。全体として、TEL Clean Track ACT 8フォトレジストアセットは、高精度フォトリソグラフィープロセスを容易に実行し、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界のデバイスに効率的で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなソリューションを提供できるように設計されています。さまざまな設定および選択は一貫して良質の結果を作り出し、汚染および欠陥の危険を減らします。
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