中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9361997 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、超薄型・高精度・高均一なフォトレジスト素材を応用したフォトレジスト機器です。このシステムは、光源、光学ユニット、真空搬送機など、いくつかの外付け部品で構成されています。光源はカスタマイズされたキセノンショートアークランプで、紫外線（UV）範囲を含む広いスペクトル光を生成します。ランプから生成された光は、使用されているフォトレジスト材料に合わせて波長スペクトルを指示するカスタマイズされた光学ツールによって収集され、集中されます。光学アセットはまた、光ビームの焦点、発散、均一性を制御します。フォトレジスト材料は真空フラスコまたはタンクに格納され、カスタマイズされた転送モデルを介して光線にさらされます。シャッター、コンデンシングレンズ、真空トランスファーチャンバーで構成されています。シャッターは、フォトレジスト材料が光にさらされる時間を制御するために使用されます。コンデンシングレンズは基板に光を集中させ、真空トランスファーチャンバーは均一な露出を保証します。このシステムには、フォトレジスト材料の特性を監視および制御するための統合測定ユニットも含まれています。この測定機は、基板とフォトレジスト材料の特性を評価する専用ソフトウェアを備えたコンピュータツールに接続されています。この資産は、高いレベルの制御と精度を可能にします。TEL Clean Track ACT 8は、超薄型、高精度、高均一フォトレジストフィルムを製造するために設計された高度なフォトレジストモデルです。カスタマイズされた光源、光学および移動装置の組合せによってシステムは使いやすく維持しながら優秀な均等性および正確さを提供します。