中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9355794 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高度なフォトリソグラフィープロセスのためのフォトレジスト機器です。最新の技術を活用して、クリーンで正確で正確なフォトリソグラフィープロセスを実現する、最高のシステムです。ACT 8は、50nmから厚さ2ミクロンまでのレジスト層を持つあらゆるタイプのフォトマスクを処理でき、0。25ミクロンまでの特長サイズをサポートします。このユニットは、0。15ミクロンまでの精度を提供し、クリーンエッジのファインラインパターンを生成することができます。レーザーベースのプロジェクション露出、アブレーションプロセス、ブランケットエッチングおよび液体コーティングのための複数のオプションを採用しています。この光路は、特許取得済みの照明機能を利用した0。15ミクロンの小型照明スポット用の高いNAスペースイルミネーションレンズを利用しています。レーザーツールは、さまざまなエネルギーレベルの超高強度エクスポージャーを提供したり、複数のシーケンシャルエクスポージャーをオーバードライブして正確なパターンを生成することができます。また、レーザービームの露出プロファイルを形成するために特別なパラメータを使用しているため、露出パターンを傷つけることなくフォトマスクを露出およびエッチングすることができます。TEL Clean Track ACT 8フォトレジストモデルは、フォトレジスト層の均一性を向上させるため、制御フロー液体塗装プロセスを採用しています。液体塗装プロセスには、粘度と露光時間を制御するパラメータと、均一性と精度を向上させるための温度制御が含まれています。この装置は、イオンインプラントを使用して密着性を改善し、パターン寸法を改善することさえできます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8では、コンピュータの中央制御と高度なプロセス監視機能を展示しています。また、SPCのロギング機能だけでなく、正確なプロセス制御のための広範なパラメータデータベースも備えています。単位は容易な維持のためのモジュラープロセスコンセプトと設計され、機械完全性のための塵および化学化合物から保護されます。全体として、Clean Track ACT 8フォトレジストツールは、精度と精度を必要とする高度なフォトリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。