中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9300430 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高品質なフォトリソグラフィープロセスのために設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、回転、ベーキング、開発などのさまざまな処理ステップを1つの自動モジュール内で容易にします。具体的には、高精度のリソグラフィープロセス中に最適な制御と高収率を提供するように設計されています。TEL Clean Track ACT 8には、高精度モーションコントローラとモーションビジョニングユニット（MViS）を搭載しています。これにより、ロングラン時でもウェーハステージの正確で再現性の高い位置決めが保証されます。さらに、高速粗動コントローラ、高速リニアエンコーダ、Closed-Loop Axis Drive （CLAD）など、さまざまな先進技術を採用しています。この機能の組み合わせにより、滑らかで信頼性の高い正確なモーションコントロールと、ウェーハステージの正確な位置決めが保証されます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、優れた基板洗浄機能を提供します。それはスライド可能な台形刃のクリーニングステーションが装備されています。研磨刃を使用して基板表面の粒子を優しく除去し、エッジ効果を低減します。さらに、継続的な効果的なプロセス制御のための粒子および汚染モニタリングツールを装備しています。このモニタリング資産は、現場のイオナイザーと空気排気システムを利用して、優れた基板清浄性を確保しています。モーションコントロールとクリーニング機能に加えて、Clean Track ACT 8は多種多様なイメージングとパターニングオプションを提供します。大型基板の迅速なイメージングのためのシングルフィードヘッドスキャナとダブルフィードヘッドスキャナの両方を搭載しており、露光レーザースキャン（ELS）、接触PRコピー（PRC）、および精密な画像パターンを定義するための内蔵オフアクシスオートアライメントなど、さまざまなパターン手法が含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高品質で再現性のあるリソグラフィ結果を提供するために設計された総合的なフォトレジストモデルです。優れたモーションコントロール、基板洗浄、イメージング機能を提供し、ユーザーは正確で正確なフォトリソグラフィープロセスを達成できます。その高度な技術的特徴と多種多様なパターニングオプションにより、高精度プロセスに最適であり、優れた歩留まりとプロセス制御を保証します。