中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282575 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、残留物を最小限に抑え、クリーンで正確な加工を可能にするフォトレジスト装置です。テレセントリック光学とインテリジェントオートメーションを使用して、より高いレベルの精度とスループットを実現する、非常に効率的で正確な技術です。システムは4つの主要な部品から成っています；ステージ、レティクル、リソグラフィーユニット、フォトレジストステーション。ステージは可動ステージと固定レチクルを備えた水平アライメント機です。移動段階は基質の広い範囲を支える信頼でき、耐久電動化された段階です。固定レチクルは、基板の正確な配置と配置のための精密な参照を提供します。リソグラフィーツールは、テレセントリック光学とスキャン制御資産で構成されています。テレセントリック光学系は、ディープフォーカスを提供し、基板の均一な照明を保証し、より正確な露出を可能にします。スキャン制御モデルは、露出が指定されたように行われ、スループットが向上することを保証します。フォトレジストステーションには、プロセス中のクロス汚染を排除するスピンオン処理ヘッドが装備されています。これは、正、負、中性タイプを含む複数のタイプのスピンオンフォトレジストをサポートしています。正確なスピンオンコーティングと安定したレジスト特性を提供し、最適なプロセス制御を実現します。最後に、TEL Clean Track ACT 8装置には、露光プロセスを監視および制御する自動エンドポインティングシステムが付属しており、スループットと精度を向上させます。エンドポインティングユニットは、露出プロファイルをユーザーに完全に制御し、均一なカバレッジと解像度を確保します。結論として、TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8マシンは、愛好家、プロトタイピスト、専門家に適した信頼性が高く、効率的で正確なフォトレジストツールです。テレセントリック光学、スキャン制御モデル、基板ステージ、レジストステーションが組み合わさり、高い精度と生産性を提供します。自動エンドポイント装置は、露出プロセスが指定されたように完了することを保証し、より均一なコーティングとより大きな解像度を可能にします。