中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282574 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスをパターン化するための信頼性と効果的なプロセスを提供するために設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストパターンは、パターンの凹凸や浮き上がりにくいデバイス領域など、ほぼすべての形状やサイズの基板にきれいに転送できます。このシステムは、精密フォトマスクアライナー、ステッパー/スキャナ、電子ビームコーター/開発者など、いくつかのコンポーネントで構成されています。精密フォトマスクアライナーにより、基板へのフォトマスクの正確なアライメントが容易になり、パターンが効果的に転送されるようになります。さらに、フォトマスクアライナーを設定して、アライメントシャッターをアクティブにすることができます。ステッパー/スキャナは、フォトレジストパターンを基板に自動露出させることができます。人間工学に基づいて設計されたウエハハンドリングと基板スキャン部品が含まれており、透明で不透明な基板用の光学イメージング機能を提供します。ユニットの最後のコンポーネントは、基板にフォトレジストコーティングを適用および開発するために使用される電子ビームコーター/開発者です。このコンポーネントは、フォトレジストを均等かつ確実に適用するように設計されています。電子ビームは高精度であり、鋭く定義されたエッジで正確なパターニングを可能にします。さらに、フォトレジストの開発プロセスは迅速かつ効率的です。TEL Clean Track ACT 8は、最新の電子デバイスをパターン化するための性能と信頼性の最適な組み合わせを提供します。そのコンポーネントは、正確なアライメント、正確な露出、さらには信頼性の高いフォトレジストのアプリケーションと開発を保証します。その結果、このマシンは、高精度と信頼性を必要とするマイクロエレクトロニクスデバイスをパターン化するために使用することができます。