中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9280915 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、半導体・集積回路（IC）製造に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストは光に敏感で、IC製造のリソグラフィ工程で使用される材料です。TEL Clean Track ACT 8システムは、環境、安全性、コスト要件を満たしながら、正確で信頼性の高い正確なリソグラフィ結果をユーザーに提供するよう設計されています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、セントラルコンソールに接続して効率的な操作を行う高度なリソグラフィーユニットです。それは露出線量、照明の露出時間および間隔のような露出変数を制御するための小さい、密集した露出装置を含んでいます。クリーニングユニットはブラシとスピンドライヤーで構成されており、フォトレジストに清潔な環境を提供します。さらに、露出前にフォトレジストと基板用の自動クリーニングセルが搭載されています。露出の前に基板を整列させるために自動露出ステージが使用され、このツールにはファンが装備されており、動作中に基板を涼しく保つのに役立ちます。Clean Track ACT 8アセットの主な特徴は、ナノコントロール技術です。ナノビームアライメントモデルを使用することにより、露出パラメータを正確に制御し、アプリケーションの要件を満たすように調整することができます。これにより、高精度な露光パラメータを実現し、基板上にフォトレジストを正確に配置することができます。さらに、露出力とレジスト分布が維持され、露出パラメータが調整されて正しいリソグラフィが保証されます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8には、コストとエネルギー効率の面でもいくつかの利点があります。低消費電力と低い運用コストにより、この装置はリソグラフィ用途に非常に効率的で費用対効果の高いオプションを提供します。また、自動洗浄セルによる汚染リスクが低く、手動洗浄の必要性が低減されています。全体的なTEL クリーントラックACT 8は、信頼性と正確なリソグラフィ結果を提供しながら、コストとエネルギー効率を提供する高度なフォトレジストユニットです。ナノ制御技術、自動洗浄セル、低消費電力により、IC製造やその他のフォトレジスト用途に最適です。