中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269257 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、先端材料の加工用に設計されたフォトレジスト装置です。クリーンルームの生産性と性能を最大限に引き出すように設計されています。このユニットは、最高レベルの精度で動作することを可能にする多種多様な機能を備えています。クリーントラックシステムは、さまざまな基板にわたって均一性と一貫性を最大限に確保する反転カセットユニットを使用しています。このマシンは、複数の基板を同時に処理できるように設計されており、優れたスループットを実現しています。カセットには両面基板ホルダーを内蔵しており、加工時の損傷や均一性を極めて低減します。このツールはまた、動滴分散アセットを介して信頼性の高い基板表面洗浄を可能にします。このモデルは、処理領域からすべての粒子を除去するためのユニークな空気パージソリューションを採用しており、粒子保持を最大限にしています。この装置は、生産ラインのカスタマイズを可能にするウェハサイズ選択オプションを備えています。また、ウェーハや基板の取り扱いと加工を容易にする自動基板インデックス作成システムを提供しています。このユニットは、登録の均一性と精度の両方を確保するために、2次元イメージング技術を利用しています。フォトレジストマシンには、露光光学の正確なアライメントを可能にする4段階の光学アライメントツールも装備されています。このアセットは、10µm分解能で最大10msの露光時間をサポートします。また、基板温度制御モデルを搭載し、基板温度の均一化とレジストの硬化を実現しています。装置は肯定的な、否定的な抵抗を含む多くのフォトレジスト材料と互換性があります。広範な環境条件に耐えるように設計されており、長期間の使用が可能です。また、高性能ジェネレータを搭載し、最高品質の露光を実現しています。クリーントラックシステムは、改善された洗浄プロセスで高い歩留まりと正確な制御を提供するように設計されています。高度な設計により、最も複雑な処理作業でも最高の精度と信頼性を保証します。最先端の素材を加工するのに理想的なユニットです。