中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269251 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高精度制御と測定を組み合わせた、幅広い化学薬品に対する信頼性の高い耐性を備えたフォトレジスト機器です。これにより、プロセスに不可欠な薄膜層を高精度かつ高精度に効率的に生成することができます。TEL Clean Track ACT 8システムは、光学マイクロメータを2軸撮影するシステムです。これにより、最大8ミクロンの解像度を持つガラススライド基板のXY座標位置決めが可能になり、薄膜、デバイスレベルのアプリケーションにおいて、フォトレジストのプロセスを正確に行うことができます。また、基板表面からの光の反射による誤差を低減する反射防止コーティングを装備しています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8マシンで使用されるフォトレジストは、化学プロセスと機械プロセスのユニークな組み合わせを使用しています。これには、溶液の直接分配、均一なレジスト層カバレッジ、および効果的な回転力制御のための回転力の最適な転送が含まれます。これらのプロセスはすべて、効率的で信頼性の高いフォトレジストツールを作成するために本質的に互いに関連しています。また、フォトレジストプロセスに従って基板を洗浄し抵抗する独自の洗浄モデルを採用しています。このクリーニング装置は、アルコールと音波クリーニングアジテータを使用して、写真露出後の最高レベルの清潔さを確保します。アルコールクリーニングシステムは、基板の汚染を低減し、抵抗するように特別に設計されています。さらに結果の精度を確保するために、クリーントラックACT 8ユニットは、回転プロセス中に各抵抗層の自動「品質チェック」も提供します。これは、各レイヤーがきれいで、所望の規格に準拠していることを確認するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8マシンならではの機能により、高精度かつ高精度なプロセス・クリティカルな薄膜層を実現しました。このツールはまた、幅広い化学物質に対する信頼性の高い耐性を提供し、結果が常に一貫して確実にクリーンであることを保証します。