中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269230 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高精度で効率的なパターニングを実現する高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、光にさらされたときに非常に細かいパターンをもたらす特別なタイプの写真感受性材料である高性能フォトレジストを使用しています。フォトレジストは、精度と再現性を兼ね備えた専用のロボットウェハハンドリングユニットに搭載されています。高品質の線形偏光レーザーをはじめとするハイエンド光学系を採用し、フォトレジストの正確な露光を可能にします。レーザー露光ツールは、精密パターンが生成されるように整列されています。この精度でアセットを調整し、究極の効率を実現します。高性能フォトレジストは、モデルのロボットウェーハ処理装置を使用して、スタンパーウェーハに調製され、適用されます。ロボットの精密な動きは、各ウェーハを迅速に配置することができ、所望のパターンやジオメトリが生成されるようにします。ロボットウェハハンドリングシステムは、ウェハを露光ユニットに輸送し、フォトレジストをレーザーの光にさらします。露出は、フォトレジストが所望のパターンの形で硬化する原因となります。露出が完了すると、ウェハは熱水または化学薬品を使用する開発機械に移動して、露出していないフォトレジストを溶解し、最終的なパターンまたはジオメトリを明らかにします。この最終ステップにより、高度に定義された正確なウェーハパターンが得られ、さらなる処理が可能になります。TEL Clean Track ACT 8ツールは、高精度の微細アライメントアセットを備えています。露光モデルのアライメントを自動的に調整するため、手作業によるセットアップに時間がかかりません。これにより、超精密かつ再現性の高いパターニングが可能になります。この装置には、効率的かつ正確なウェーハ処理のための高精度ウェーハアライメントシステム、正確な露出を確保するためのオートフォーカス制御、リアルタイムのエラー検出とデータロギングを提供するためのユニットモニターなど、さまざまな機能が組み込まれています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8マシンは、高精度なパターンを実現する高速かつ高精度で効率的なフォトレジストツールを提供します。このアセットは、高精度、高精度指向のプロセス・フローに最適です。