中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269229 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、半導体加工用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジストにさらされる前に基板から余分なほこりや粒子を取り除くことができる高度な表面洗浄技術を備えています。これにより、汚染や欠陥形成の可能性が低減され、パフォーマンスや製品の故障につながる可能性があります。TEL Clean Track ACT 8は、基板上面のサブミクロンサイズの粒子を検出できる高度な光学ステートプロファイラ（OSP）を採用しています。検出されると、OSPは表面のクリーニングパラメータを自動的に調整して粒子の最適な除去を保証します。この洗練された技術は、さらなる処理のためのクリーンな基板を実現するために多くの精度と精度を提供します。東京エレクトロンクリーントラックACT 8は、基板全体に均一なコーティングを可能にする同期コーティングユニットを備えています。このマシンは、コーティング工程中に一貫した基板接触を提供するための精密ウェーハステージ位置決めツールを採用しており、フォトレジスト蒸着の最適な均一性を確保しています。また、新たなオートフォーカスモジュールを採用し、検査時のアライメント精度と光学画像取得精度を最大化しています。このモジュールは、画質を向上させるだけでなく、より高い精度でウェーハの欠陥を評価するプロセスを容易にします。また、Clean Track ACT 8には露出条件データベース（ECDB）が統合されており、各ジョブの特定の要件に応じたカスタマイズが可能です。このECDBは、被曝条件を基板ごとに最適化し、フォトレジスト層の全体的な品質をさらに向上させるのに役立ちます。最終的に、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、優れたパフォーマンスを提供するために設計された多くの高度な機能を備えた洗練されたフォトレジストモデルです。最先端の表面洗浄技術、精密ウェハステージング、革新的なオートフォーカス装置、露出条件データベースを活用し、幅広い半導体加工アプリケーションに最適です。