中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9219615 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、集積回路製造用に設計された「Deep UV」フォトレジスト装置です。フォトレジストは、半導体製造プロセスで使用される光感受性材料で、さまざまなレイヤー上の特徴を作成します。TEL ACT 8システムは、市場の他のフォトレジストと比較して非常に高い感度と解像度を提供するように設計されています。TOKYO ELECTRON ACT 8ユニットは、負フォトレジストと酸拡散スクリーンの2つのコンポーネントで構成されています。ネガティブフォトレジストは、スプレーまたはスピンコーティング技術を使用して基板に適用されます。十分な強度の紫外線にさらされると重合し、不溶解性と非吸収性になります。これにより、微細な線やその他の構造を作成できます。フォトレジストの後に適用される酸拡散スクリーンは、形成された特徴のサイズを制御するために使用されます。フォトレジストの選択された成分と反応し、エッチングマスクとして機能する微細な泡の層を作成します。この層は、周囲のフォトレジストよりもエッチング率が高く、より小さな特徴を形成することができます。フォトレジストと酸の拡散スクリーニングの硬化により、機能が安定し、汚染がないことが保証されます。これらの機能は、その後のリソグラフィに使用することができ、さらなる回路形成を可能にします。ACT 8マシンは、速度、感度、解像度を露出する点で利点を提供します。感度が高いため露光時間が短くなり、生産スループットが向上します。また、0。2ミクロンの解像度までのラインと0。1ミクロンまでのスペースを生産できるため、最新のIC製造プロセスに適しています。TEL ACT 8ツールは、高信頼性で高解像度のフォトレジストソリューションをお探しのお客様に最適です。その高速露出速度、感度、精度は、最も要求の厳しい生産条件に耐えることを意味します。