中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9198618 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、先進技術を駆使した高精度フォトレジスト機器で、ハイエンドマイクロエレクトロニクス機器の生産に幅広いメリットを提供します。このシステムにより、プロセス制御と精度が向上し、生産性と品質が向上します。通常、薄膜トランジスタや集積回路の製造に使用されます。TEL Clean Track ACT 8ユニットは、特許取得済みの電子ビーム露光源と独自のソフトウェア制御による高精度な多軸露光メカニズムの2つの主要コンポーネントで構成されています。電子ビーム露光源は電子銃を使用して、フォトレジスト材料に転送される高解像度のマスク画像パターンを生成します。特許取得済みの露出源は、イメージング媒体による露出エネルギー損失を最小限に抑えて、画像をフォトレジスト材料に正確に転送するように設計されています。これにより、解像度が向上し、正確な画像登録が可能になります。2つ目のコンポーネントは、独自のソフトウェア制御による高精度な多軸露光メカニズムで、非常に正確なピンポイント精度でマスク間の画像パターンを提供します。チタントレーラーを搭載し、0。5ミクロン以下の精度で3軸のリニアモーション制御が可能です。これにより、精度の高いフォトアライメントが可能になり、高解像度で優れた登録が可能になります。また、ウエハプリベイクモジュール、温度補償アセット、高精度シャッターモデルなど、さまざまなアドオン機能を備えたTOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8ツールを搭載しています。これにより、装置は特定の生産要件を満たすためにカスタマイズすることができます。クリーントラックACT 8フォトレジストシステムは、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造において非常に高い精度と速度を提供する最先端の技術を備えています。薄膜トランジスタや集積回路の製造において、生産時間の短縮、高品質な画像処理、生産性の向上を実現します。これは、非常に正確で微細なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に理想的なマシンです。