中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9198617 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高精度、高解像度、清浄度を要求される成膜プロセス用に設計されたフォトレジスト装置です。リソグラフィープロセスのための高度な機能と技術で設計されており、高温および/または高抵抗物理学が関与するプロセスに最適化されています。物理的接触を最小限に抑えた成膜機能の制御性と精度を向上させることができます。TEL Clean Track ACT 8は、高度なフォトレジスト技術を使用して、特定のサイクルのプロセス中に正確な原子層の堆積を可能にします。この技術は、物理的接触を最小限に抑えて機能を正確に制御し、効率的なリソグラフィプロセス生産を可能にします。プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、マルチステージアッシング（MSA）、 LPCVD （Low Pressure Chemical Vapor Deposition）技術を搭載し、精密な原子層蒸着を実現しています。このユニットには、高温を必要とするリソグラフィープロセス用の高レジスト物理技術も含まれています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、最小限の物理的接触で最適な結果を得るために、ユニークなチャンバー構造と統合ロボットアームで設計されています。この技術は、従来のフォトリソグラフィープロセスよりも高い解像度で正確なマスクを可能にします。統合ロボットアームは、より高い柔軟性と蒸着プロセスの正確な制御のために設計されています。クリーントラックACT 8は、一般的なステンレス、アルミニウム、石英材料など、さまざまな基板を取り扱うことができます。また、薄くて厚いフィルムを低温でコーティングしてウェーハリングすることも可能です。さらに、このツールはバッチと連続の両方のプロセスで動作することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、廃棄物を最小限に抑え、物理的接触を最小限に抑え、高品質な堆積結果を生み出します。その高度な機能と技術により、従来のフォトリソグラフィープロセスよりも高い解像度で正確なマスクを製造することができます。これは、高精度、高解像度、および清浄度を必要とする堆積プロセスにとって理想的な資産です。