中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9198616 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、マスクレス露光システムを活用し、高品質なリソグラフィーパターンを実現するフォトレジスト機器です。ウェーハ表面に正または負のフォトレジスト層を照射するために、レーザー光のマルチコアビームを使用します。レーザー光は液晶シャッターによって変調され、パターニングオプトエレクトロニクスが所望のパターンを正確に形成することができます。このユニットには水晶基板ステージも含まれており、パターニング中に露出領域を調整するためにユーザーが介入することなく自動的に移動することができます。レーザー光源は低消費電力でオゾンフリーです。このマシンは、さまざまなフォトレジストの正確なアライメントと取り扱いで高解像度のパターンを生成するように設計されています。低粒子汚染でクリーンルーム動作をサポートし、静電気の発生を最小限に抑えます。このツールは非常に効率的で費用対効果が高く、高価なマスク作成の必要性を排除し、長いエッチングとドライクリーニングプロセスのステップを削減します。このアセットを使用すると、フォトレジストを負から正にさらすことができ、追加のプロセスステップなしでマルチレイヤーパターンを作成できます。フォトレジストごとに、さまざまなプロセス要件に合わせて調整できるプロセス条件とプロセス設定を最適化するように設計されています。機器は最大8つのレシピをメモリに保存でき、プロセス設定に応じて露光時間とレーザー出力を調整できます。また、リアルタイムモニターを搭載しているため、環境条件の変化に合わせ、露光パターンの進捗状況を把握することができます。このフォトレジストユニットは、フォトレジストの優れた解像度、アライメント、および精密パターニングを提供します。低消費電力とオゾンフリーレーザー源は、クリーンルーム用途に適していますが、コスト効率と時間節約機能により、研究者やメーカーにとって貴重なツールとなります。さらに、このマシンに内蔵されたモニターとレシピストレージは、リソグラフィーフォトマスクを製造するための非常に効率的で信頼性の高いソリューションです。