中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9145931 を販売中

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ID: 9145931
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、電子部品の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体業界で使用されるパターン化されたウェーハを作成するために使用されます。高解像度のリソグラフィーイメージングを提供し、精度とスピードを両立させています。TEL Clean Track ACT 8は、特許取得済みの高度なフォトレジストを使用しており、極めて小さな構造を極めて優れた精度で製造しています。このフォトレジストは、薄く均一な層でウェーハに適用され、紫外線(UV)光にさらされます。UV露出はフォトレジスト内の化学成分を活性化し、開発者のソリューションで洗い流されたときに不溶解性になります。露出されなかった領域は溶解性のままであり、パターンデザインのみを残した開発者によって削除されます。このユニットは、フォトリソグラフィ用途のクリーンルーム環境を提供する一連のロボットアームを組み込んだ自己完結型の処理プラットフォームを備えています。これらのロボットアームは正確な動きを提供し、ウェーハを正確に配置して整列させることができます。この機械には、最終製品に悪影響を及ぼす可能性のある野良粒子やその他の汚染物質などの目に見えない欠陥を検出できる高度なイメージングツールも装備されています。アセットは、前露、ポストイメージング、バーニッシュなど、さまざまなプロセス手順を実行できます。クリーニングとベーキングによってウェーハを準備するために前露が使用され、ポストイメージングはイメージング後にパターン化されたデザインを検査するために使用され、バーニッシュはウェーハ表面からの残留物をきれいにするために使用されます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8の高精度イメージングは、製品の信頼性と精度の点で高い歩留まりを生み出します。このモデルを使用することで、生産プロセスを厳密に制御することができ、高収量の部品を一貫して一貫した品質で生産することができます。また、設備は非常に柔軟性があり、研究開発から大量生産まで、さまざまな生産環境で使用することができます。その柔軟性は、高品質の基準を維持し、製造に関連するコストを最小限に抑えたい企業に最適です。
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