中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9106750 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、露光プロセスの清浄度を向上させ、化学廃棄物の量を削減するフォトレジスト装置です。このシステムは、Clean Trackマスクアライナーとカスタムクリーニングソリューションの2つのコンポーネントで構成されています。クリーントラックマスクアライナーは、紫外線に敏感なマスクをフォトマスクに正確に配置する精密アライメントユニットです。このマスクは、フォトレジストを紫外線にさらすために使用されます。マスクの素材は、廃棄物を最小限に抑えて正確に再配置できる特殊な搬送材です。このマシンには、マスクが所定の位置に保持され、露出プロセスがクリーンで正確で再現性のある露出結果を生成することを確実にするための自動真空ツールも含まれています。カスタムクリーニングソリューションは、Clean Trackマスクアライナーで使用するために特別に設計されています。この独自の洗浄ソリューションは、露出前後にフォトマスクを徹底的に洗浄するために、界面活性剤や溶剤と同様に、水系および有機成分で構成されています。この繊維なしの解決はフォトマスクで一般的であるポリマーを分解し、露出プロセスの間に画像のぼかしを防ぐのを助けます。Clean Trackマスクアライナーとカスタムクリーニングソリューションを組み合わせることで、フォトレジストをきれいにし、露出プロセスを改善する効果的な方法を提供し、露出プロセスに関連する時間と無駄の両方を削減します。Clean Trackアセットは、最高レベルの清潔さを確保しつつ、コンパクトで使いやすいように設計されています。さらに、このモデルは、清潔性と安全性に関する業界で最も厳しい基準を満たしています。TEL Clean Track ACT 8は、フォトレジストクリーニングと露光プロセスの包括的なソリューションを提供することで、フォトリソグラフィープロセスの歩留まり向上とコスト削減に貢献します。