中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9078027 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、半導体製造におけるクリーンで効率的で信頼性の高いリソグラフィープロセスを可能にするフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジストストリップ機能を実行し、リソグラフィック露出後にウェーハの表面からフォトレジストを除去するために使用されます。このユニットはまた、インライン表面汚染モニターだけでなく、石版マンドレルの表面洗浄も提供します。TEL Clean Track ACT 8マシンは、高度なアクチニックテクノロジーを活用し、表面膜厚の均一性、プロセス速度の向上、ウェーハ表面の清浄度の向上を実現します。450W Xeエキシマレーザスキャナを内蔵しており、深穴エッチングなどのウェットエッチング処理用の高スループット深紫外線（DUV）処理を提供します。このツールは、ストリップ効率の高い精度とプロセスの安定性の向上により、より低い欠陥を可能にするように設計されています。ナノ構造レジスト処理用のドーパントを精密に制御するための改良されたケミカルインジェクタと、ナノスケールエッチプロセス用のステージドライブ精度の向上を備えています。さらに、フォトレジストのセグメンテーションを自動化し、欠陥検査を強化する高解像度顕微鏡を搭載しています。東京電機クリーントラックACT 8モデルには、ディープエッチング工程でのウェーハ温度上昇を低減する低熱放射源を搭載し、グループ電極構成を改良し、レジストエッチングと表面膜厚の均一性を向上させました。また、安全性、信頼性、効率性を向上させるための自動クリーンルーム管理装置と監視システムを備えています。Clean Track ACT 8ユニットのユーザーは、短いサイクルタイムと高い安定性と信頼性の恩恵を受けており、効率的で正確な半導体製造プロセスに最適です。市場で入手可能な他のソリューションと比較して、ランニングコストの削減とスループットの向上を実現します。さらに、使いやすいソフトウェアにより、リソグラフィープロセスの自動校正と一貫した校正が可能です。