中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9057502 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、半導体デバイスの製造における精密エッチング、コーティング、接着を目的としたフォトレジスト装置です。主に回路基板組立とウェハ加工の分野で使用されています。このシステムは、ウェーハ表面に適用されるフォトレジスト（PR）材料の特殊な形態を使用し、光源が材料の特定の部分をエッチングすることを可能にします。PR材料は真空コーティング装置を使用して表面に適用され、表面にPR材料を均等に配分します。部品がPR材料に囲まれたら、光源が作動し、指定された設計データに従って材料を選択的にエッチングします。光強度、露光時間、光源の角度を調整することで、部品に必要なパターンを実現できます。このユニットは、正確で正確な部品を作成するために不可欠なPR材料の正確かつ正確な位置決めのために設計されています。高解像度ステージツールと3ミクロンの精密なエアベアリングステージアセットを搭載しています。エアベアリングステージモデルは、エッチング前に部品を正確に配置するために使用できます。エッチングに加えて、製品の内側と外側の両方のコーナーに単一のアプリケーションでコーティングすることもできます。これにより、正確で緻密なデザインの作成がさらに容易になります。均一性を確保するために、システムには、均一性からの逸脱を検出してタイムリーな調整を可能にするアライメントおよび均一性検査機能が装備されています。さらに、金属蒸着、活性化、接着硬化などの接着プロセスも可能です。機械は接着剤の適用が一貫してい、堅くなるプロセスが精密であることを保障するために非常に強い真空を加えます。全体として、TEL Clean Track ACT 8は、半導体デバイスの製造に適した精密で汎用性の高いフォトレジストツールです。アセットは、ターゲット設計からの偏差がほとんどない高品質の製品を確保するために必要な機能を備えています。