中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293821422 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、フォトリソグラフィ用途に特化したフォトレジスト化学加工装置です。このシステムは、重要な機能制御の高精度と、さまざまな高度なリソグラフィ構造の設計における重要な選択性を提供します。これは、最適なフォトレジスト処理と高度なリソグラフィ設計構造を保証するために、検査、プロセス、およびイメージング機能の広い範囲を提供します。このユニットには、真空チャック付きマスクアライナー、マルチトラックスキャナ、露出ユニット、開発者アセンブリが含まれています。新たに設計されたマスクアライナーのナノポジショナーは、± 3nmの再現性により、正確で一貫したサブミクロンのアライメント精度を保証し、高精度のフィルム接触と高スループットを可能にします。マルチトラックスキャナは、調整可能なビームスポットサイズとスキャンロゼッタ印刷と高度なリソグラフィ技術のための高度なイメージング機能を備えた高速スキャンを提供します。露出ユニットは、用量を高精度に制御し、異なる基材およびプロセス要件のための光源の選択を提供します。開発者アセンブリは、化学処理時間と温度を自動制御し、最適な回路性能を実現します。このツールには、レシピとプロセス履歴のデジタルライブラリが含まれており、オペレータの効率と再現性を確保しながら、データトレーサビリティも向上します。このライブラリは、サポートされているすべてのシステム（Windows/Linuxオペレーティングシステム）と互換性があり、既存のソフトウェアおよびハードウェアライブラリとシームレスに統合できます。TEL ACT 8は、多種多様な統合シミュレーションツールとアナリティクスにより、正確な性能要件を満たす回路性能と構造を保証します。TOKYO ELECTRON ACT 8は、業界最高の精度、選択性、スループットを提供し、最先端のリソグラフィ構造の最適なフォトレジスト処理と設計を保証する幅広い検査、プロセス、イメージング機能を備えています。基板材料やプロセス要件を精度、精度、速度で処理できるため、フォトリソグラフィ用途に最適です。