中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293767233 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、先進的な半導体製造プロセス向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、ウェーハ上のフォトレジストフィルムの露出パターンを制御するように構成されています。このタイプのプロセスは、最新の洗練されたチップに必要な非常に正確なパターンと特定の形状を達成するために必要です。TEL ACT 8システムは、ディスペンスユニット、CD測定機、レーザーダイレクトライターの3つの主要コンポーネントで構成されています。ディスペンスツールは、フォトレジストフィルム材料を基板に正確に供給することを可能にします。CD Measurement Assetは、フォトレジストフィルムの回路パターンの重要な寸法を正確かつ正確に測定するように設計されています。最後に、Laser Direct Writerは、ターゲット回路パターンをシャープに描画するフォトレジストに高精度のレーザービームを出力します。東京電子ACT 8モデルは、高速自動画像処理を容易にする走査型電子顕微鏡画像装置や、3次元フォトレジストパターンのコンフォーマル書き込み用の高出力高調波パルス発生器など、性能向上技術を特長としています。また、最適化されたビームプロファイルスタビライザーと次世代近接効果補正モジュールを備えています。これらの機能により、高精度なフォトレジストパターンが保証され、マージンレスの整合性が維持されます。このシステムはさらに、フォトレジストフィルムの露光量を測定して、露光プロセスに関するフィードバックを提供することができます。TOKYO ELECTRON ACT 8ユニットは、露光プロセスを完全に制御できるように設計された高度な制御および監視アルゴリズムでプログラムされています。データベース管理機能が内蔵されているため、露出プロセス全体を通じてパラメータと結果をリアルタイムで記録できます。マシンはローカルエリアネットワークを介してホストコンピュータに接続し、他の機器や人員との通信を提供します。ACT 8は、フィルム露光パターンを正確かつ正確に提供し、ウェーハに適用される感光性のレジスト層から製造工程で高い製品収率を実現します。高信頼性のフィルム配送、正確なパターン認識と制御、効率的な画像解析と高度な制御とデータベース機能を組み合わせることで、最新の半導体製品の製造に不可欠なツールとなります。
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