中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293628555 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、ハイエンドリソグラフィープロセス向けのフォトレジスト機器です。垂直抵抗ヘッドを採用し、均一で高品質な結果が得られます。高精度デバイスは、レジスト表面全体に均質な露出を提供します。このユニットは、0。5 μ mの構造を処理するときに高い再現性を持つように設計されているため、厳しい生産ラインで使用することができます。マスク面イメージングレンズを搭載し、フォトレジストを1X〜5X低減。レンズはレンズを操作することでレジストのあらゆる側面を視認し拡大することができ、望ましい結果を得ることができます。このデバイスは、サイクル時間を短縮するために、複数の画像、マスク、およびフィルムを同時に露出させることができるステップと繰り返し機能を備えています。また、4インチから6インチまでの基板にも対応可能で、5。6 μ m以下の露出が可能です。このツールにはArmコントロールが内蔵されており、ユーザーはレジストレイヤーを操作し、露光量、フォーカス、シャッタースピードなどのフォトリソグラフィに関連するさまざまなパラメータにアクセスすることができます。この機能により、このデバイスは高精度のウェーハアプリケーションと生産に最適です。TEL ACT 8の設計は、露出からフォーカス設定まで、フォトリソグラフィープロセスのあらゆる側面を監視、自動化、制御することができます。このデバイスには内蔵の診断機能があり、プロセスのパフォーマンスと設定に関する情報を提供できます。このデバイスはまた、フォトリソグラフィープロセスを強化し、正確に制御できる温度制御設定を備えています。このアセットは、従来のアナログサーボモータと比較してはるかに高い精度を可能にする高精度のデジタルサーボモータを使用しています。このユニットには、マスクとフィルムの正確な位置決めとアライメントのための高い反復可能なアライメント設定も含まれています。これらの特徴はすべて、東京エレクトロンアクト8がハイエンドのリソグラフィープロセスを実現するための理想的なツールであることを保証します。このデバイスは、半導体産業で使用される最先端のプロセスの1つである4分の1ミクロン分解能のプロジェクションリソグラフィなどのプロセスを容易にすることができます。したがって、このデバイスは、正確なプロセス制御設定と正確な結果を必要とするあらゆるリソグラフィック処理アプリケーションに適しています。