中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293592456 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高度なナノテクノロジーリソグラフィープロセス用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムには2つのスキャナが装備されており、1つは紫外線で動作し、もう1つは赤外線で動作します。このユニットは、優れた精度と再現性、および長時間の動作でも優れた均一性を提供するように設計されています。TEL Clean Track ACT 8は、高度なオートフォーカス機構、独自の絶縁技術、フォトレジストのコントラスト比のアクティブ調整を駆使し、結果パターンの高い寸法精度を確保するユニークなマシンです。オートフォーカス機能により、フォーカス位置と深さを迅速かつ正確に再現可能に最適化し、一貫した高精度パターン転送を実現します。特許取得済みの絶縁機構により、フォトレジストの振動や操作中のその他の歪みを大幅に低減します。最後に、アクティブなコントラスト調整機能により、目的のパターン分解能に応じてコントラスト比を調整できます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、照明ステージ、フォトリソグラフィーステージ、露光後ベーク（PEB）ステージ、コーティング/開発ステージからなる4トラックのアセットです。光学部品は、汚染物質を最小限に抑えるために、各ステージの密閉環境で分離されます。パターンの歪みを引き起こす可能性のある粒子の生成を回避するために、特殊なトラッピングデバイスが使用されます。照明とフォトリソグラフィーステージには、熱変化による歪みを非常に低減するための高度な光学ヒステリシス技術など、さまざまな高精度光学が採用されています。露出後のベーキングステージには、均一な加熱を提供する石英ハロゲンランプが装備されています。PEBプロセスの温度はパターン移動の質を制御するために正確に調節することができます。露出後のベーキングステージは最大8つのカセットを収容でき、露出後のベーキングプロセスの時間を短縮できます。コーティング/開発段階には、ウェーハを正確に動かすための高精度ロボットアームが装備されています。このプラズマ生成ユニットは、パターン開発のための精密エッチングやウェーハ洗浄に使用されます。その後、ウェーハは高精度で高解像度のイメージングオプティクスにさらされ、優れたパターン転送が可能になります。クリーントラックACT 8は、効率を最大化し、正確なパターン転送を保証するように設計された完全で高精度なフォトリソグラフィーモデルです。その高度な機能により、機器は長時間の操作でも堅牢で信頼性が高く、正確で再現性があります。