中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #193036 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8
ID: 193036
ウェーハサイズ: 8"
(4) Coater / (4) Developer system, 8" Double block IFB (4) SUCs SMIF CSB.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、東京エレクトロン株式会社が開発・製造するフォトレジスト機器です。これは、市場で主要なフォトレジストシステムの1つです。このシステムは、有害な残留物なしにきれいで一貫した露出フォトレジストを提供するように設計されています。TELクリーントラックACT 8ユニットは、スプレー配送機、ウォータージェット補助スプレー配送機、ヘッドユニット、ヘッドステージ、コントローラで構成されています。スプレー供給アセットは、ガラス表面にフォトレジストを原子化して供給するために使用されます。その後、原子化された液滴は基板全体に均等に広がります。ウォータージェットによるスプレー供給モデルは、フォトレジスト粒子の分散力を増加させ、基板上に均一なフィルムを形成します。ヘッドユニットは露出のための基板を正確に配置するために使用され、ヘッドステージは露出放射の下でレジストを正確に配置するために使用されます。コントローラは、強度、持続時間、および露出深さなどの露出プロセスの物理パラメータを制御するために使用されます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8には、化学検出装置、アンチコンタクトシステム、スプラッシュガードなど、さまざまな先進安全機能が搭載されています。化学検出ユニットは、機械に使用されるフォトレジストの濃度を監視し、危険な流出や排出を防ぎます。接触防止ツールは、基板と露光源の接触を防ぎ、損傷のリスクを最小限に抑えるために使用されます。スプラッシュガードはフォトレジストのスプレー放出率を低減し、クリーンで均一な露出を確保します。Clean Track ACT 8は、リソグラフィおよびパターニングプロセスで使用するために設計されています。このアセットは、パターン化された層を基板に正確かつ正確に転送するために使用され、最高品質のフォトレジストフィルムを提供します。半導体ウェハ、集積回路、フラットディスプレイ、金型などの露出に適しています。この機器は、さまざまなフォトレジストと互換性があり、ユーザーは自分のニーズに最適なフォトレジストを選択することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、高精度な露光機能と高度な安全機能を備えた信頼性と使いやすいシステムです。このフォトレジストユニットは、基本的なリソグラフィから複雑なパターニングまで、さまざまな産業用途に最適です。
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