中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162692 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、半導体ウェハフォトリソグラフィなどの用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。従来のフォトレジストとSOLIDLINE PRECISIONプロセスを改良した先進的なデザインです。ACT 8システムは、プロセスエラーや汚染を低減し、高解像度のリソグラフィを可能にします。ACT 8ユニットの中核には、フォトレジスト層の品質向上に役立つECD （Electron Cyclotron Deposition）噴霧剤があります。スパッタプロセス中に使用されるエージェントは、欠陥を減らし、汚染の可能性を最小限に抑えます。これにより、フォトレジスト層のより大きな領域を露出させることができ、均一な厚さと均一な表面トポロジーを確保するのに役立ちます。ACT 8マシンはまた、フォトレジスト化学の改良を誇り、はるかに強い接着強度とコーティング能力を向上させます。その低損失率と修正の必要性の減少は、フォトリソグラフィに関しては時間とお金の両方を節約するのに役立ちます。ACT 8は、ECD噴霧剤に加えて、TEL特許を取得した「柱」技術を使用して、フォトレジスト材料をより効果的に捕捉し、補正の必要性を減らし、フォトレジスト層との均一性を確保します。また、プロセス中に静電気放電を引き起こす可能性のある粒子の数を減らします。ACT 8ツールは、欠陥トラップの改善とより深い欠陥のない領域も提供します。これにより、リソグラフィープロセス中の重要な機能の品質を向上させると同時に、カスや欠陥関連の歩留まり損失の可能性を減らすことができます。最後に、ACT 8アセットは、フォトレジスト層の挙動を分析および予測し、それらが取り返しのつかない前に潜在的な問題を検出するのに役立つエキスパートソフトウェアスイートを利用します。ソフトウェアはまた、プログラミング時間を短縮し、効率的な生産を確保するのに役立ちます。TEL Clean Track ACT 8は、改善されたリソグラフィープロセスでウェーハを処理する効率的で信頼性の高い方法と、改善された化学薬品およびソフトウェアを提供します。これにより、複雑なフォトリソグラフィープロセスを必要とするあらゆる半導体アプリケーションに最適です。