中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162688 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8は、TELが提供するフォトレジスト機器です。独自のドライスクラブ技術を使用して、開発したフォトレジスト残留物を高効率で高精度に洗浄および除去します。高速ロータリーブラシ、真空抽出、超音波振動の独自の組み合わせを採用し、基板から有機残留物を持ち上げます。このユニットは、高い均一性、再現性、精度で、1つのパスで有機残基を完全に除去できると言われています。このマシンは、クリーントラックスクラバーとクリーントラック真空ツールの2つの主要コンポーネントで構成されています。クリーントラックスクラバーは、中央にブラシヘッドを備えた円筒形のスクラバーユニットです。ブラシヘッドはモーターで駆動され、反時計回りに回転し、ウェーハ表面をスクラブし、有機残留粒子を除去します。同時に、ウエハ表面に超音波振動を印加し、スクラビング処理をさらに強化し、有機残留物を除去することも可能です。クリーントラック真空アセットは、スクラバーによって生成された破片粒子を抽出するように設計されています。それは真空の部屋、排気ファンおよび電磁弁で構成されます。ロータリーブラシが回転すると、ウェーハ表面から粒子が取り除かれます。真空チャンバーは、排気ファンと電磁弁を介してモデルからそれらをキャプチャし、離れて輸送します。TEL Clean Track ACT 8は、自動車、医療、半導体業界の厳しい要件を満たすプロ仕様のクリーニング性能を提供します。装置に調節可能なブラシの速度があり、均等性、反復性および正確さを高めました。また、プロセスが迅速かつ効率的に実行されるため、ダウンタイムが低くなります。また、厳しい環境規制を遵守しながら、危険な化学物質の必要性を最小限に抑えるように設計されているため、高い安全性と環境性能を備えています。