中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 / ACT 12 #9138479 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12は、TEL （TOKYO ELECTRON）が設計した高精度リソグラフィープロセス用フォトレジスト装置です。システムは、ACT 8ステージとACT 12ステージの2つのステージで構成されています。ACT 8ステージは、露出前に基板にフォトレジストを適用する完全なレジスト処理ユニットです。レジストを塗布する前に基板から汚れや汚れを除去するダブルスクラバーユニットを装備しています。ACT 8には、プログラム可能なレシピ制御を可能にするASCIIコントローラ、および化学注入および化学温度制御も含まれています。ACT 12ステージは、基板露出後のパターンの任意の重要寸法を測定する臨界次元計測およびレジスト焼成ユニットです。また、加熱および冷却ステップ用のタイマー、自動ベーキング用の加熱可能な通気ディスクも含まれています。ACT 12には、最高の精度と信頼性を確保するために、さまざまな最先端の検出方法が装備されています。TEL Clean Track ACT 8/ACT 12マシンの2つのステージは、優れたレジスト処理を実現するために並行して動作します。その高度な技術は業界レベルの精度と信頼性を提供し、高精度のリソグラフィ作業に最適です。このツールには、作業中にさまざまな環境条件に対して優れた保護を提供する高度な安全機能が装備されています。また、TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12はメンテナンスや修理が容易な設計となっており、最大限のアップタイムと効率的な運用が可能です。全体として、クリーントラックACT 8/ACT 12アセットは、最も要求の厳しいリソグラフィ要件に適した高度で信頼性の高いフォトレジストモデルです。ダウンタイムと汚染のリスクを最小限に抑えながら、優れた精度を提供するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12は、プログラマブルレシピ制御や自動ベーキングなどの機能を備え、あらゆるリソグラフィ用途に最適です。