中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 / ACT 12 #9138478 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12は、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス部品など、さまざまな用途に使用されるサブミクロン部品を使用した高分解能パターンを作成するフォトレジスト装置です。このシステムは、ACT 8とACT 12の2つの構成で構成されており、それぞれ8インチと12インチのウェーハを処理することができます。このユニットは、高度なプロセス制御アルゴリズムを使用して、正確で再現性のあるエッチング結果を保証し、基底パターンの属性がサブミクロンレベルで高度に制御可能なフォトレジスト層を処理するのに理想的です。マイクロプロセッサ制御のプロセスと露出ツールにより、サブミクロン機能の高精度パターニングが可能です。TEL Clean Track ACT 8/ACT 12は、光学近接補正（OPC）、化学機械研磨（CMP）、紫外線（UV）および電子ビーム（EB）のレーザーエッチングなど、さまざまなリソグラフィおよび露光オプションを提供します。また、基板前処理、熱管理、ウエハー処理など、応力/欠陥制御用サブシステムの内蔵、エッジ浸食、スタビR処理、オートチェックなどの高度な機能も備えています。このモデルは、ガスの使用量と圧力レベルを継続的に監視する自動化されたプロセスで環境保護のために設計されています。さらに、装置には最高水準の保護を確実に達成するための安全機能が組み込まれています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12は、さまざまな高度なリソグラフィ用途に有効なフォトレジストシステムを提供します。8インチウエハと12インチウエハの両方を処理することができ、柔軟な露光とリソグラフィーのオプションと高度なプロセス制御機能を組み合わせることで、サブミクロン部品で高解像度パターンを作成するのに理想的なソリューションです。