中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7 #293656056 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7は、高度なメモリと高密度デバイス製造用に特別に設計されたモジュラープラットフォームからなるフォトレジスト機器です。このシステムは、マルチレベルのリソグラフィのための正確で迅速な並列パターニングのために利用可能な最高レベルのオートメーションおよびプロセス制御機能を備えています。TEL Clean Track ACT 7は、TELが開発した革新的なレジスト露光技術である投影光学点処理をベースとした高度に専門化された装置です。本技術は、シングルヘッド液晶（LC）プロジェクションユニットを使用して、露出したレジストフィルムの照明領域に微調整されたサブミクロンパターンデータを投影します。これにより、非常に正確な画像作成とクリーンレジストパターニングが可能になります。ACT 7マシンには、高精度フォトマスクチェンジャー、自動化されたスリットスキャン抑制および露出ヘッドなど、複数のオートメーション機能があり、画像品質を損なうことなく複雑なスリットスキャンにより、高精度な画像作成を維持できます。このツールは、複数のレジスト材料を同じウエハに統合する機能も備えているため、さまざまなプロセスに適しています。さらに、ACT 7は、露出前ベーク（PEB）、露出後ベーク（PEB）、開発後ベーク（PDB）などの幅広いプロセスをサポートしています。高度なリソグラフィーソフトウェアは、自動光学近接補正（OPC）や高度なプリパターンおよびポストパターン処理など、さまざまな画像形成モードにも対応しています。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7は、シングルヘッド液晶投影モデル、自動化されたスリットスキャン抑制と露出ヘッド、高精度フォトマスクチェンジャー、高信頼性リソグラフィーソフトウェアを搭載した高度なフォトレジストです。PEBやPDBなどの幅広いプロセスに適しており、多種多様な画像形成モードをサポートしています。