中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9412474 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12は、繊細で敏感な電子材料に精密でステップバイステップのプロセスを実行するように設計された先進的なフォトレジスト装置です。特許取得済みのフェイスダウン精密トラック技術を使用して、さまざまな精密レシピでウェーハを処理します。システムは、一度に最大12ウェーハ、最大2ウェーハサイズのディスペンスバルブ、2クリーニングバー、2シリンジポンプバルブ、ビジョンカセットローダー、および無線周波数（RF）モジュールを収容できるメイントラックで構成されています。ビジョンカセットローダーを使用すると、各ウェハをトラック内の適切な位置に自動的に識別して転送できます。また、サイズや向きに合わせてウェーハを揃えることも可能です。TEL Clean Track ACT 12は、特殊なフォトレジストアプリケーションマシンを使用して、完成したウェーハの表面仕上げをクリーンで安定したものにします。フォトレジストは、ディッピングとスピンコーティングの2つの主要な方法を使用して適用されます。この精密トラックにより、クリーンでデブリのない環境でフォトレジストを正確かつ再現可能に適用することができ、完成したウェハの潜在的な汚染を排除します。このマシンには、フォトレジストアプリケーション側と処理されたウェーハの上面と底面の2つの独立したクリーニングバーがあります。異なる洗浄剤を使用して、不要な粒子や残留物を徹底的かつ完全に除去することができます。また、すべてのフォトレジストが完全に除去され、ウェーハに汚染物質がないようにするために、最終的な洗浄を行うこともできます。このツールには専用のRFモジュールも装備されており、オペレータはフォトレジストの露出設定を調整してフォトレジストを正確に適用することができます。この機能により、露出設定の微調整が各ウェーハの正確な要件を満たすことができ、高精度で再現性のある結果が得られます。また、迅速かつ簡単なメンテナンスのために設計されており、ウェハホルダー、フォトレジストバルブ、その他の部品の迅速かつ簡単な洗浄と交換を可能にします。これにより、TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12の最適な性能を確保し、ダウンタイムの削減と生産性の向上を実現します。