中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9395682 を販売中
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ID: 9395682
ウェーハサイズ: 12"
System, 12"
Single block
FOUP Open cassette
No nozzles
No Stepper / Scanner interface
No hot / chill / transfer plates and types
No chemical cabinet
No T&H (Temperature and Humidity)
No power distribution box and AC transformer
No IDI and RRC pumps
No DEV and EBR systems
No HDD.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12フォトレジスト装置は、汚染を低減し、性能を向上させる高度な機能を備えた高精度の自動フォトリソグラフィーマシンです。このシステムは、様々な基板を処理し、歪みと精度を最小限に抑えた高精度な構造を作り出すことができます。TEL Clean Track ACT 12は、加工前に基板から気泡や塵などの汚染物質を除去するために設計された最先端の真空プロセスを利用しています。特殊な高温高圧洗浄プロセスにより、基板汚染をさらに低減します。また、フォトリソグラフィープロセスの各ステップごとに基板とマスクパターンを正確に揃えることで精度を高める自動光学アライメントマシンも搭載しています。このツールは、高性能の12ゾーン露光ランプを使用して基板を正確に光にさらし、各ゾーンはコンピュータ制御資産によって独立して制御されます。露光時間を正確に制御し、過剰な露光をせずに正確なパターニングを行うことができます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、高水準の振動制御を維持し、熱歪みを低減するために設計された特殊なマスクテーブルアセンブリを使用しています。さらに、このモデルには複数のコントローラとフィードバックセンサーが装備されており、これらのレベルを仕様内に保つためにテーブルの圧力、温度、振動を監視します。また、高精度なケミカルコーティングを保証する高度なケミカルディスペンスシステムや、フォトレジストを回収して再利用する特殊なケミカルリカバリユニットも搭載しています。フォトリソグラフィープロセスの後で、機械は正確さを確認し、欠陥を検出するために基質のプロフィールを正確に測定できる特別な後処理の単位が装備されています。後処理装置は、洗浄工程の補助、化学残留物および残りの汚染物質の除去にも使用されます。要するに、Clean Track ACT 12フォトレジストツールは、歪みと精度を最小限に抑えた高精度の構造を生成するように設計された高度な自動リソグラフィー装置です。この資産は、汚染を最小限に抑え、精度とパフォーマンスを向上させるために、いくつかの高度な機能を利用しています。
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