中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9373073 を販売中
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ID: 9373073
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
(2) Coater / (2) Developer system, 12"
Load port: (3) FOUPs
Main controller: Type 2
Coater 2-1 and 2-2:
R1-R4
(4) PR Nozzles
EBR
Resist pump type: RRC Pump
PR Filter type: Housing type
Developer 2-3 and 2-4:
Developing nozzle: Dual H nozzle
Top rinse: Single nozzle
Plates: (2) ADH, (7) LHP, (5) CPL, (4) PHP, (2) TRS, TCP
IFB: WEE, Buffer, CPL, THS
SHINWA ESA-8-T-01 Temperature and humidity controller
SMC INR-244 Temperature control unit
Chemical cabinet:
HDMS: Gallon bottle supply
Buffer tank: 3 L
Solvent: CSS With 3 L buffer tank
Developer: CSS with 3 L buffer tank
AC Power box: AC200/220 V, 157 A, 10 kA, 3 Phase
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、ウェーハイメージング基板の高精度リソグラフィを実現するフォトレジスト装置です。ハイスループットエッチング、高密度接触露出、コンフォーマルコーティングなどの高度なウェーハ加工技術を可能にします。このシステムは、高度な粒子制御技術と堅牢なハードウェアとソフトウェア設計を組み合わせて、最大のリソグラフィック歩留まりを実現します。TEL Clean Track ACT 12ユニットには、12インチの真空チャックが搭載され、6つのマルチゾーン温度制御により、迅速なウェーハ処理が可能です。ウエハの冷却、取り扱い、洗浄のための超高真空プロセスと組み合わされています。これにより、ウェーハの露出された領域と露出されていない領域の間の汚染物質の移動が減少し、プロセス結果が一貫しており、干渉が最小限に抑えられます。機械の中心は精密なイメージ投射および高いアスペクト比の露出を提供する二酸化炭素レーザーベースの投射レンズです。高精度なアライメントツールは、ナノメートルレベルの精度を提供し、高度なリソグラフィ用途に必要な信頼性と精度を提供します。このアセットは、ウェーハの両側を同時にイメージングすることで生産性を2倍にする両面露光を含む、最大50のウェーハサイズのバリエーションに対応できます。さらに、モデルの焦点範囲を拡張することにより、0。4〜40ミクロンの小さなライン露光が可能になり、中密度から高密度のアプリケーションでの回路の生産コストを削減することができます。ユーザーフレンドリーなプロセス制御ソフトウェアは、簡単なセットアップと簡単な操作を提供し、幅広いプロセスレシピを簡単に操作できます。機器はすべての主要なレジストおよび開発者と互換性があり、最適なフォトレジスタンスを確保します。東京電機クリーントラックACT 12システムは、正確なウェーハイメージングを提供するために設計された信頼性の高い正確なフォトレジストユニットです。その堅牢なハードウェアおよびソフトウェア設計は、高度なレーザーベースのイメージングおよびフォーカス制御と組み合わせることで、高いスループット、小さなラインイメージング、および両面露光プロセスに優れた結果をもたらします。
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