中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9284887 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、集積回路の製造において、エッチングやリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、温度制御されたオーブンと低圧で一貫して維持されるチャンバーを内蔵しています。この設計には、工場環境のプロセス間でウェーハを輸送するための自動ウェーハ転送ユニットがあります。このマシンには、ウェーハの正確な位置を決定するための高精度レーザーアライメントツールも内蔵されています。TEL Clean Track ACT 12には、フォトレジストを使用したウェーハの高度な前処理のためのフルスイートの機能と機能があります。フォトレジストアプリケーション用の高度なスピンシャワー液体を備えており、可変速度でスピンするように設定することができます。このアセットには、水銀を含まないエキシマレーザーを使用してウェーハの定義された領域にUVエネルギーを正確に適用する統合露光モデルもあります。メタルハライドランプは、必要に応じてフォトレジストの露出にも使用できます。「TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12」の精密制御式ドライエッチングおよびウェットエッチング機能には、ドライエッチングとウェットエッチングの両方に対応するプラズマアッシング/ストリッピングステーションが組み合わされています。ソフトウェア制御装置は、エッチング速度を調整する機能を備えており、マイクロエレクトロニクス生産におけるエッチング機能の制御を強化することができます。応用後の化学物質およびエッチング後の処理は、組込みコンピュータ制御システムを介して監視および管理されます。クリーントラックACT 12ユニットは、包括的な粒子および化学廃棄物の処理機能を備えています。この機械は、0。1ミクロン未満の粒子放出を制御するように設計されており、危険物質のない使用のために認定されています。これは、このツールには粒子の放出を制御する高度なフィルターシステムが装備されていることを意味し、ユーザーはクリーンな環境で動作することができます。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12フォトレジスト資産は、精密前処理・エッチング機能、高度な粒子・化学廃棄物管理、安全運転のための統合監視装置などの革新的な機能を提供するコンパクトで高性能な生産モデルです。