中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9282380 を販売中
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ID: 9282380
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Coater / Developer system, 12"
Left to Right
FOUP carrier
(3) FOUP Loader uni-cassetes
(3) Main controllers
(2) Thermo controllers
(2) Fire system boxes
PRB
CSB
IFB
Main system:
Main frame with system controller
Carrier station
FOUP Cassette
(3) Cassettes
Uni-cassette system
Coater unit:
(6) Dispense nozzles
With temperature control line
MILLIPORE RDS Pump
Rinse nozzle: EBR / Back rinse / Solvent bath
Rinse system: (2) Buffer tank systems (3-Liters)
Degassing system
Programmable side rinse
PR Nozzle
(6) Bottles
Thinner supply: CCSS
AMC Suck-back valve
Direct drain
Developer unit:
H Nozzle:
Stream nozzles for DI rinse
2-Points for back side rinse
Developer systems: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Developer supply: CCSS
Degassing system
Developer temperature control system
Direct drain
NIKON SF130 Wafer stage
Adhesion units:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
HMDS Supply
(5) Low temperature Hot Plates (LHP)
(4) Chill Plates (CPL)
(2) Precision chilling Hot Plates (PHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
Wafer Edge Exposure (WEE) unit
I-line UV Sensor
Chemical cabinet 1: HNDS and Solvent supply system
Chemical cabinet 2: DEV Solution and DIW supply system
SHINWA Series ESA-8 Humidity controller
Temperature Control Units (TCU)
AC Power box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、半導体デバイスの製造をより迅速かつ効率的に行うために設計されたフォトレジスト（PR）装置です。シリコンウェーハ表面に電気信号を伝達するための複雑なパターンを作成するために使用される高度なソリューションです。システムはいくつかの異なるコンポーネントで構成されており、その一部はパターンの精度を最適化し、非常に高い歩留まりを保証するように設計されています。1つ目はTEL クリーントラックETCHユニットです。ドライエッチングとケミカルエッチングを組み合わせることで、ウエハが正しくパターン化されているかを確認します。PRアセットを正確に設定するための高度なリソグラフィーツールもあります。このモデルには、PR層の速度を制御し、電子データ転送を最適化するためのAC磁石装置も含まれています。このシステムはまた、生産プロセスの欠陥を軽減または排除するように設計されています。TELクリーントラックACT 12は非常に信頼性が高く、いくつかの組み込みの安全システムを備えています。これらのうちの1つは、クリーントラックプロセス監視ユニットです。このマシンは、各プロセスステップが監視され、エラーを修正することができます。このツールには、PRレイヤーが正しく適用されていることを確認するためにリアルタイムのサーフェスモニタリングに使用されるインラインミラーアセットもあります。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12のもう1つの重要な特徴は、製品のニーズに応じてPRレイヤーのパラメータを素早く変更できることです。これにより、高い柔軟性と生産時間の短縮が可能になります。最後に、このモデルは、生産プロセス中の欠陥を自動的に検出することもできます。これにより、より包括的で迅速な品質管理が可能になり、エラーの迅速な解決が可能になります。全体として、Clean Track ACT 12は高度で効率的なフォトレジスト装置です。その革新的な機能と信頼性の組み合わせは、半導体デバイスの迅速かつ正確な生産のための理想的な選択肢となります。
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