中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9280162 を販売中
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販売された
ID: 9280162
Coater / (2) Developer system, 12"
CSB
PRB1
IFB
Chemical box
Thermo controller
(2) Fire system boxes
Left to right
Carrier type: FOUP
Loading configuration: 3 FOUP's
(3) Main controllers
Main system:
Main frame with system controller
Carrier station:
Type: FOUP Cassette
(3) Cassettes
Unicassette system
Coater unit:
(6) Dispense nozzles with temperature controlled lines
RDS Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Programmable side rinse:
(1-6) PR Nozzles
(6) Bottles (1 Bottle / 1 Nozzle)
CCSS Thinner supply
AMC Suck-back valve
Direct drain
I/F Wafer stage type: NIKON SF130
Chemical cabinet: Solvent, HMDS, DEV
Developer unit:
H-Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
2-Points for back side rinse
Developer system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Developer temperature control system
Direct drain
Adhesion units (ADH):
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
Local HMDS supply
(5) Low Temperature Hot Plates (LHP)
(4) Chill Plates (CPL)
(2) Precision Chilling Hot Plates (PHP)
(2) TRS
Transfer Chill Plate (TCP)
Wafer Edge Exposure (WEE):
UV Sensor: i-Line
SHINWA Series ESA-8 Temperature and humidity controller
Temperature Control Unit (TCU)
AC Power box
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、さまざまな基板上でクリーンで高解像度のパターンを生成するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストは光に敏感な材料の一種で、集積回路製造などの多くの産業用途で基板上の電気接続や構造を作成するために使用されます。ACT 12は、フォーカス、照明、ステージ制御システムを組み合わせて、最大12ミクロンの解像度でパターンを生成します。ACT 12システムの主な構成要素は、高分解能の光学顕微鏡です。従来の光学顕微鏡よりも精密なイメージングが可能で、視野も広がります。特別な照明ユニットは、パターニングプロセスに正確な照明を提供し、専用のステージコントローラと組み合わせて使用すると最大30段階のプロセス制御を可能にします。このコンポーネントの組み合わせにより、さまざまな基板上のミニチュア回路要素の正確なパターンが可能になり、最大12ミクロンの解像度が得られます。光学顕微鏡や照明装置に加えて、ACT 12にはフォトレジスト制御ツールが統合されています。このアセットは、最適な性能を得るためにフォトレジストモデルのさまざまなパラメータを正確に調整するのに役立ちます。また、ACT 12には耐腐食性ステンレスボウルが付属しており、フォトレジスト塗布前の基板実装に最適です。ACT 12装置のもう一つの特長は、広範囲の環境条件で動作する能力です。耐食構造により、湿度や腐食性の高い環境や極端な温度での使用に適しています。これは、敏感または危険な場所で基板上の構造を生成する場合に特に有益です。TEL Clean Track ACT 12は、さまざまな基板上のミニチュア回路要素をパターン化するためのパラメータを正確に制御する最先端のフォトレジストユニットです。光学顕微鏡、照明ステージ、統合フォトレジスト制御機を搭載し、最大12ミクロンの解像度でクリーンで高解像度のパターンを生成します。さらに、さまざまな危険な環境で動作するのに十分な堅牢性があります。
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