中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9276181 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、TELが開発した半導体業界に高い化学清浄度を提供するフォトレジスト機器です。システムは2つの段階で構成されています。最初の段階はウェーハの表面を前処理し、プロセスキラーの汚染を減らすために特に設計されている前塗料です。このプレコートに続いて第2段階が続きます。これには、ウェーハ表面から不要な汚染物質を除去するように特別に設計されたケミカルクリーンが含まれます。TEL クリーントラックACT 12ユニットは、優れた化学清浄性と優れた画質を提供し、可能な限り最高の生産歩留まりを確保するのに役立ちます。この機械は、汚染物質を除去し、清潔さを確保するために、まずウェーハ表面にプリコートを使用して動作します。これは、特別に設計された流体溶液をウェーハに放出することによって行われます。液体をウェーハに噴霧すると、表面からの粒子やその他の不要な破片を減らすことができます。これにより、化学物質のクリーンがより効率的に行われるようになります。プリコートが適用されると、ツールの第2段階が開始されます。この段階には、追加の汚染物質やその他の不要な物質を除去するように設計された化学物質のクリーンが含まれます。このプロセスを開始するには、高濃度の化学混合物をウェーハ表面に適用します。この混合物は、その後、紫外線にさらされるだけでなく、ウェーハ表面を加熱するのに役立つホットプレートの資産。これらの2つのコンポーネントは、効果的にウェーハ表面をきれいにし、不要な粒子をさらに排除するために協力します。最後に、ウェーハを洗浄すると、ポストコートが追加され、それ以上の異物に抵抗することができます。このポストコートは滑らかな表面を提供し、さらに粒子やその他の不要な要素からウェーハを保護するのに役立ちます。その結果、さまざまな製品やプロジェクトに使用できるクリーンで高効率な表面が得られます。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12モデルは、半導体業界において高い化学清浄度と画質で高い評価を受けています。手洗いの必要性を排除し、優れた生産歩留まりを提供します。これは、半導体業界や最高水準の清浄度と効率を必要とするお客様にとって不可欠なツールです。