中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9272286 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、高精度で高品質な回路を印刷できるように設計されたフォトレジスト機器です。この堅牢なシステムは、歪みを最小限に抑え、高精度で非常に複雑なライン構造を印刷することができます。350ナノメートルのトラック幅の分解能と、3ナノメートル未満の層対層再現性公差を備えています。フォトレジストユニットは、スピンオンレジストとリソグラフィーイメージングを備えた2段階のプロセスで構成されています。まず、基板またはウエハーにスピンオンレジストを適用します。この液体レジストは、ウェーハに分配された後、基板全体に均一な層を広げるために高速で回転します。高品質なプリントを実現するためには、非常に高い精度と均一性でレジストを塗布する必要があります。スピンオンレジストが適用されると、ウエハは高出力のUV光源にさらされます。これは、リトグラフ画像が行われる場所です。このデバイスは、レジスト層から「負」のイメージを生成するために、光エネルギーと露出の量を正確に制御することができます。リソグラフィ画像を使用して、目的の回路設計を印刷します。イメージングプロセスの後、開発者、すすぎ、オーブンのステップのカスケードがレジストレイヤーにデザインを「焼く」ために使用されます。機械は直径8インチまでウェーハを処理することができ、手動または自動操作のためにセットアップすることができます。クリーントラックツールの速度と精度は、複雑な回路の高精度印刷に最適です。また、ポストプロセッシングにより画像解像度を向上させることができます。これには、複数のレジストレイヤー、選択的ドーピング、レーザー切断、およびその他の高度な技術が含まれます。TEL Clean Track ACT 12は、シンプルでパワフルなフォトレジストモデルで、偏差を最小限に抑えた高度な回路設計が可能です。