中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9269255 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、優れたリソグラフィ精度とプロセス性能を実現するフォトレジストシステムです。フォトレジストは、集積回路部品やその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される化学プロセスです。TEL Clean Track ACT 12は、ポジティブフォトレジストレジスト、プリスピンレジスト、ネガティブフォトレジストの3つの主要コンポーネントから構成される2段階の化学材料ベースのシステムです。ポジティブフォトレジストは、接触エッチング、ゲート接触エッチング、誘電エッチング、ポリシリコンドーピングなどの半導体製造プロセスで使用されます。紫外線（UV）の感度が高く、ウェーハ表面にモーショントラックパターンを発生させます。プレスピン抵抗は半導体製造においても重要な役割を果たします。フィルム構造を安定させ、マスクパターンのエッチングを開始します。最後に、ネガティブフォトレジストを使用してパターンの望ましくない部分を削除します。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、レジストの厚み、パターンCD、レジストの均一性を正確に制御できるため、優れたリソグラフィ精度を提供します。これは、高度なフィルム開発モニタリング、高精度な裏面反射ツール、およびその他の統合されたプロセス制御機能によって実現されます。さらに、このシステムには自動フィードスルーアセンブリが装備されており、一貫性のあるジオメトリと寸法を持つコンポーネントを製造する上で重要です。さらに、クリーントラックACT 12は、ウェーハと基板の間の均一なレジストギャップを可能にする高解像度エレベーター機構を備えています。その結果、汚染を低減し、歩留まりを向上させ、パフォーマンスを向上させた高品質のウェーハ部品が得られます。
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