中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266472 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONクリーントラックACT 12は最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、感光膜を半導体表面に堆積させるために使用されます。これにより、フィルムの厚さと表面特性を正確に制御および操作できます。TEL Clean Track ACT 12ユニットは、精密な線形ステージと完全に統合されたビジョン/アライメントマシンを使用しています。これにより、正確な動きとフィルムの正確な位置を堆積することができます。また、ビジョン/アライメントツールは、蒸着プロセスの精度を維持するためのフィードバックも提供します。フィルムは一連のスピンとスプレーヘッドを通して堆積します。スピンヘッドは高速で基板を回転させ、スプレーノズルは基板表面にフォトレジスト液を適用します。液体を塗布した後、真空チャックを使用して基板を固定し、画像アライメント処理を開始します。ステージは、X軸またはY軸のいずれかで基板を正確に移動できます。この時点で感光膜は基板に整列し、画像を正確にフィルムに再現することができます。基板上に作成された画像は、フラッシュランプによって乾燥され、紫外線にさらされて開発されます。このフォトリソグラフィープロセスにより、パターン設計を基板に正確に転送できます。このアセットにより、フォトレジスト層の厚さのバリエーションも可能になり、正確で正確な回路設計が可能になります。フォトレジストが開発されパターン化されると、基板はエッチングされたプロセスに配置され、様々な化学物質や酸を使用してフォトレジストを除去し、基板表面に所望の回路を形成します。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12モデルは、信頼性と精度の高いフォトリソグラフィとエッチングプロセスを提供し、大量のアプリケーションプロセスに最適です。機器は使いやすく、メンテナンスも簡単です。さらに、システムはFOUPおよびPodの追跡可能であり、現在のウェーハ製造業界に最適です。