中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266471 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は、優れた半導体デバイスの加工・製造を目的としたフォトレジスト機器です。それは完全に自動化された、費用効果が大きく、信頼できるパッケージの高度のフォトレジストの技術そしてプロセスを提供する上限装置です。このシステムは、レーザースキャナーユニットを含む主要コンポーネントで構成され、レーザー光学系とリサイクル可能な真空チャックテーブルを備えています。レーザースキャナーユニットは、視野内のデータをマスクする点で正確なビーム配置と再現性を可能にし、真空チャックテーブルは信頼性の高い基板コーティング、放射膨張制御を可能にし、粒子分散などの潜在的な欠陥を排除します。TEL Clean Track ACT 12には、パフォーマンスを向上させ、コストを削減し、急速な熱露光や急速な熱開発（RTED）ユニットを含むメンテナンスを簡素化するいくつかの高度な機能が搭載されています。本機は、不要な露出成分を排除し、基板露出と材料露出を共調させることで、材料消費量とプロセス時間を大幅に削減します。このツールには、より大きな寸法とパターンの高密度の迅速な露出を可能にする高出力の紫色レーザーも付属しています。さらに、正確な位置決めのための高精度な基板アライメント、パターンの均一性を向上させるエッジ露出多反射モデル、プロセス変動防止のためのリンス&スプレーカセットクリーナーをサポートします。また「、東京エレクトロンクリーントラックACT 12」には、複数のウエハサイズに対応できるフルオートメーション装置と、ヒール効果システムの低径基板分野を搭載しています。そのレシピでは、このユニットは、粒子分散とレーザーの揺れを補正することにより、高レベルのプロセス均一性を提供します。全体として、Clean Track ACT 12は、最も要求の厳しい半導体デバイス用途のニーズを満たすように設計された先進的なフォトレジストマシンです。その特徴と信頼性により、コスト効率が高く信頼性の高い方法で生産スループットを最大化するのに適しています。さらに、このツールは高いレベルのプロセスの均一性とパフォーマンスを提供し、フルオートメーション資産はシンプルで効率的な作業ソフトウェアを提供します。