中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265670 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12は半導体産業のために作られたフォトレジスト機器です。これは、リソグラフィ用途にクリーンな環境を提供するように設計されています。このシステムは、独自の多段式洗浄設計を使用して、最高の清潔性を提供します。本製品は、ノズルとポンプの配列を使用して、基板表面からフォトレジストを洗浄します。洗浄のために、ノズルは精密スリットノズル設計を使用して最適な洗浄フローを生成することができます。スリットノズルは、大きな粒子を小さく分割して取り外しやすくする乱流を発生させます。さらに、ノズルは、表面からの粒子の効率的な抽出のための吸引チャネルの配列を作成することができます。付着した粒子やカプセル化された気泡を分解する高圧ガスを注入する余分なノズルを追加することで、洗浄操作がさらに強化されます。ユニットが使用するポンプは、タンク内の真空を作成するダイヤフラム設計です。この真空により、ユーザーはさまざまなアプリケーションのクリーニングプロセスをカスタマイズできます。ポンプには、圧力と体積の異なる組み合わせに対応する小型から最大までの3つのサイズがあります。各ポンプには効率的な圧力制御機械も含まれており、圧力が常に最適な範囲内にあることを保証します。また、TEL クリーントラックACT 12には、水道水から化学薬品や汚れなどの不純物を取り除くことでタンクをきれいにする浄水道具が装備されています。これにより、フォトレジストの汚染を低減するだけでなく、クリーニング作業のパフォーマンスを向上させます。東京電子クリーントラックACT 12は、基板表面の品質を監視するための目視検査アセットも使用しています。このモデルは、洗浄プロセスの前後に基板の画像をキャプチャするユニット内に配置された3つのカメラで構成されています。これは、ユーザーがフォトレジストが効果的に除去され、表面がまだ滑らかで欠陥がないことを保証するのに役立ちます。全体として、Clean Track ACT 12は高度なフォトレジスト装置で、洗浄性能とリソグラフィープロセスの制御性を向上させます。このシステムの効率的なクリーニング設計と、堅牢な浄水および目視検査システムを組み合わせることで、クリーンルームの操作を確実にすることができます。